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            工業烤箱設備為什么比一般烤箱更適合半導體職業?

            發布時間:2022-2-12 17:27:00  來源: http://www.relporuo.com/news763657.html

                    工業烤箱設備是降低柜內氧氣含量,進行加熱烘烤的枯燥設備。 主要是對金屬等比較容易氧化的設備進行烘烤,使其枯燥固化時的抗氧化維護。 我們知道半導體制造能夠細分為前道和后道兩個工藝過程。前一工序是加工硅資料制造晶片,通過步進曝光等多個工序將IC規劃圖案加載到晶片上,制造集成電路; 后工序是將搭載集成電路的晶片分割為基本單元,通過封裝、測驗完結的集成電路產品。工業烤箱設備在無氧分解真空環境下,氧分壓下降,避免了資料枯燥過程中的氧化變質現象,保證了被枯燥產品的質量,且具有功能完全、烘烤作用好、運用方便、易于操作等特色,比一般烘箱更適合應用于半導體職業。

            工業烤箱設備為什么比一般烤箱更適合半導體職業?

            東莞鉑藝工業烤箱設備具有以下特色:

            1、上下爐腔可獨自控溫、通氣、報警維護,強制送風內循環,確保溫度均勻。

            2、操控系統用PLC+人機界面配合微電腦操控溫控器,帶PID主動演算功能以保證箱體溫度均勻性為±1℃。

            3、工業烤箱設備外原料為SPCC鋼板通過蘇打水清洗后粉體烤漆處理,保溫原料為高密度纖維棉,保溫作用好。

            4、工業烤箱設備內原料用SUS304不銹鋼板,整個內腔用氬弧焊滿焊,避免空氣進入烘箱內,同時節省惰性氣體。

            5、能夠保存配方,檢查溫度曲線,導出升溫數據等。

            6、裝備主動充氮氣裝置,與主動開關風門進行充氮烘烤。

            7、依據運用要求,能夠接受定制工業烤箱設備。


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